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瀏覽:85 次 更新時間:2019-06-25
現在使用到的精密軸類拋光機,底座安裝在框架的下表面上,其旋轉軸通過軸承安裝在框架內,拋光盤安裝在旋轉軸上,在上表面上精密進給螺桿的下部,安裝在底座的安裝孔中,精密進給螺桿的上端安裝在梁的安裝孔中,手柄安裝在精密進給螺桿的頂部,螺母安裝在精密進給螺桿上。
其升降環安裝在升降平臺的上表面,工件安裝在承載套筒的下表面,重量安裝在承載套筒上,升降平臺的左端安裝在立柱上通過線性軸承,如今新型可以通過工件固定裝置中,其各組件的有機結合來控制晶圓的拋光厚度,可以保證晶圓的平行度,防止樣品磨損并取代手柄的操作,從而減少了工人的勞動,阻力提高了加工效率和工件的磨削質量。
如今新型的精密軸類拋光機,包括具有研磨拋光材料的拋光盤,以用于樣品的固定調節裝置,其特征在于,樣品的固定調節裝置包括底座,導柱并聯和精密螺釘平行在拋光板的上板和中心板上,精密螺釘通過軸承垂直安裝在上板和底座之間,導柱以固定方式垂直連接頂板,以底座之間的中心板安裝在頂板和底座之間,該設備可有效防止樣品磨損,精確控制磨削量,材料消耗低效率高。
目前超級可控的精密軸類拋光機,其包括支撐板安裝基座,其電機可徑向移動的驅動器,以驅動地替代觸發機構連接,替代觸發機構可滑動地水平安裝在導軌直線導軌,并沿軸向和擺動方向移動,在推出粗糙,中間和密間距的過程中,分別實現釋放所有拋光的安裝,既方便又保證了拋光的質量。